[发明专利]低能散高亮度负氧离子产生装置在审
| 申请号： | 202111037613.9 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113782414A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 孙良亭;金钱玉;赵红卫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 张月娟 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低能散高亮度负氧离子产生装置，包括放电室、陶瓷窗、射频天线以及进气管道；所述放电室为一端开口，另一端封闭的腔体结构，所述放电室的开口端设置有金属法兰，所述放电室的封闭端设置有离子引出孔；所述陶瓷窗与所述金属法兰的法兰面贴合设置，并将所述金属法兰的法兰口封闭；所述射频天线设置在所述陶瓷窗上；所述进气管道设置在所述金属法兰的顶部，且位于所述陶瓷窗的后方，所述进气管道与所述放电室连通。本发明能够产生低能散、高亮度的负氧离子束，提高离子束亮度及空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 低能 亮度 离子 产生 装置 | ||
【主权项】：
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