[发明专利]用于气体配制的装置和方法在审
| 申请号： | 202111034352.5 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN115753317A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 姜健准;王帅帅;王斌;胡潇雨 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司北京化工研究院 |
| 主分类号： | G01N1/38 | 分类号： | G01N1/38 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 王崇;李婉婉 |
| 地址： | 100728 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体分析领域，公开了一种用于气体配制的装置和方法。本发明的装置包括用于保证质量流量控制器压差的稳定罐。本发明的方法包括：(I)将稀释气和至少一种标准气通入一级产品气储罐中，通过质量流量控制器对通入的稀释气和至少一种标准气进行定量；(II)当一级产品气储罐中的压力升高使得质量流量控制器入口和出口的压差降低至质量流量控制器标准工作压差时，将稀释气和至少一种标准气切换至通入稳定罐中直至稳定罐中的压力与步骤(I)一级产品气储罐中的压力相同；(III)再将稀释气和至少一种标准气切换至通入一级产品气储罐中。本发明可以保证质量流量控制器正常使用且可以进行多级气体稀释，稀释倍数可以达到ppm甚至以下。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气体 配制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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