[发明专利]用于气体配制的装置和方法

权利要求书

1.一种用于气体配制的装置，其特征在于，该装置包括稀释气储罐(1)、一级产品气储罐(7)、稳定罐(8)和至少一个标准气储罐；所述稀释气储罐(1)和至少一个标准气储罐分别与一级产品气储罐(7)连接，且所述稳定罐(8)也与所述稀释气储罐(1)和至少一个标准气储罐连接，所述稀释气储罐(1)和至少一个标准气储罐各自配置有质量流量控制器。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述装置还包括N级产品气储罐，N级产品气储罐分别与稀释气储罐(1)和N-1级产品气储罐连接，N≥2。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述稀释气储罐(1)、一级产品气储罐(7)、N级产品气储罐和标准气储罐上各自独立地配置有减压阀和/或单向阀；

和/或，所述一级产品气储罐(7)、稳定罐和N级产品气储罐上各自独立地配置有压力测定器。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的装置，其中，所述稀释气储罐(1)并联配置有两个量程不同的质量流量控制器；

和/或，所述稳定罐(8)上设置有针阀。

5.一种配制气体的方法，其特征在于，该方法包括：(I)将稀释气和至少一种标准气通入一级产品气储罐中，通过质量流量控制器对通入的稀释气和至少一种标准气进行定量，该步骤中稀释气在质量流量控制器入口处的压力为V₁；

(II)当一级产品气储罐中的压力升高使得质量流量控制器入口和出口的压差降低至质量流量控制器标准工作压差时，将稀释气和至少一种标准气切换至通入稳定罐中直至稳定罐中的压力与步骤(I)一级产品气储罐中的压力相同，该步骤中稀释气在质量流量控制器入口处的压力为V₂且V₂大于V₁；

(III)再将稀释气和至少一种标准气切换至通入一级产品气储罐中，该步骤中稀释气在质量流量控制器入口处的压力为V₃且V₃≈V₂。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述方法还包括：(IV)往N级产品气储罐中通入稀释气和N-1级产品气以实现气体的多级稀释，N≥2。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，步骤(I)-(III)中标准气在质量流量控制器入口处的压力也分别为V₁、V₂和V₃。

8.根据权利要求5或7所述的方法，其中，V₂与V₁的差值为0.1-0.3MPa。

9.根据权利要求5或7所述的方法，其中，V₁＝0.1-10MPa或V₂＝0.1-10MPa。

10.根据权利要求5-9中任意一项所述的方法，其中，所述方法在权利要求1-4中任意一项所述的装置中进行。