[发明专利]稀释气体的系统和方法在审
申请号: | 202111034339.X | 申请日: | 2021-09-03 |
公开(公告)号: | CN115753316A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 姜健准;王帅帅;王斌;胡潇雨 | 申请(专利权)人: | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司北京化工研究院 |
主分类号: | G01N1/38 | 分类号: | G01N1/38 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 王崇;李婉婉 |
地址: | 100728 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及标准气配制领域,公开了一种稀释气体的系统和方法。本发明的系统包括:稀释气储罐、产品气储罐、压力测定器、质量流量控制器和至少一个标准气储罐;稀释气储罐和至少一个标准气储罐分别与产品气储罐连接,压力测定器设置在产品气储罐上,质量流量控制器设置在产品气储罐和标准气储罐之间用来测定由标准气储罐通入产品气储罐中的标准气的量。本发明稀释气体的方法包括:往产品气储罐中通入稀释气,通过压力测定器对通入的稀释气进行定量;再往所述产品气储罐中通入至少一种标准气,通过质量流量控制器对通入的标准气进行定量。本发明能够实现低浓度产品气的配制,配制浓度范围可控制在较宽的区间,且质量流量控制器能够维持正常工作。 | ||
搜索关键词: | 稀释 气体 系统 方法 | ||
【主权项】:
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