[发明专利]稀释气体的系统和方法

权利要求书

1.一种稀释气体的系统，其特征在于，该系统包括：稀释气储罐(1)、产品气储罐(2)、压力测定器(13)、质量流量控制器(15)和至少一个标准气储罐；其中，所述稀释气储罐(1)和至少一个标准气储罐分别与产品气储罐(2)连接，所述压力测定器(13)设置在产品气储罐(2)上，所述质量流量控制器(15)设置在产品气储罐(2)和标准气储罐之间用来测定由标准气储罐通入产品气储罐(2)中的标准气的量。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述系统还包括真空泵(19)，沿标准气流动方向上，连接标准气储罐与产品气储罐(2)之间的管线上依次设置有三个三通阀，质量器流量控制器(15)设置在第二个三通阀和第三个三通阀之间，其中，第一个三通阀的一路出口连接至真空泵(19)，第二个三通阀的一路出口连接稀释气储罐(1)且另一路出口连接所述质量器流量控制器(15)，第三个三通阀的一路出口连接稀释气储罐(1)且另一路出口连接所述质量器流量控制器(15)。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其中，所述压力测定器为压力变送器。

4.根据权利要求1或2所述的系统，其中，沿标准气流动方向上，所述质量流量控制器(15)之后连接有单向阀(20)。

5.一种稀释气体的方法，其特征在于，该方法包括：(I)往产品气储罐中通入稀释气，通过压力测定器对通入的稀释气进行定量；

(II)再往所述产品气储罐中通入至少一种标准气，通过质量流量控制器对通入的标准气进行定量。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，步骤(II)中，往产品气储罐中通入至少两种标准气且至少两种标准气按顺序通入，通入一种标准气之后对管道进行抽真空处理之后再通入另一种标准气，各种标准气由同一质量流量控制器进行定量。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述压力测定器为压力变送器。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，步骤(I)中通入的稀释气与步骤(II)中通入的至少一种标准气的体积比至少为100:1。

9.根据权利要求5所述的方法，其中，步骤(II)得到的产品气中标准气的浓度在0.1-10000ppm范围内。

10.根据权利要求5-9中任意一项所述的方法，其中，所述方法在权利要求1-4中任意一项所述的系统中进行。