[发明专利]包括间隙电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202111034257.5 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN115765675A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 马晓丹;郝龙;徐洋 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/54;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；底电极；顶电极；声学镜；和压电层，其中：底电极为包括间隙层的间隙电极，间隙层形成所述声学镜，顶电极、底电极、压电层和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域限定谐振器的有效区域；谐振器还包括第一种子层，第一种子层的至少一部分限定所述间隙层的上侧边界；在底电极的电极连接端，第一种子层的边缘与所述有效区域的边缘之间在水平方向上存在第一距离a，在底电极的非电极连接端，第一种子层的边缘与所述有效区域的边缘之间在水平方向上存在第二距离b，其中，a和/或b的值不小于‑2.0μm。本发明还涉及一种滤波器及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 间隙 电极 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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