[发明专利]高通量极紫外多层膜光栅光谱仪在审
| 申请号： | 202111030277.5 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113720795A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 杨笑微;翁祖谦 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;徐颖 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高通量极紫外多层膜光栅光谱仪，包括狭缝、多层膜光栅、探测器、信号处理系统和真空腔体；被测样品、狭缝和作为分光元件的多层膜光栅置于真空腔体内，入射光打到被测样品上产生的极紫外信号通过狭缝入射至多层膜光栅上，从多层膜光栅上衍射出来的信号通过与真空腔体密封连接的探测器探测，探测器探测信号送信号处理系统处理，获得被测样品的极紫外吸收谱数据。采用了多层膜光栅作为分光元件，可以使得光谱仪中光栅的工作角度从掠入射变为近正入射，大幅提高了对光子的利用效率。本发明结构紧凑，并且在需要同等光通量时，相比现有技术，本发明使用小尺寸光栅基底的成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 通量 紫外 多层 光栅 光谱仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海科技大学，未经上海科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111030277.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
