[发明专利]一种含有嵌套的微陷阱结构的薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202111028756.3 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113737134A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 胡忠强;赵亚楠;朱媛媛;刘明;何鋆;胡天存;张毅;崔万照 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;西安空间无线电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种含有嵌套的微陷阱结构的薄膜及其制备方法，包括下层材料薄膜、上层材料薄膜和基底；下层材料薄膜设置在基底上，上层材料薄膜设置在下层材料薄膜上；下层材料薄膜原子间隙小于上层材料薄膜的原子间隙，下层材料薄膜的原子间隙嵌套进上层材料薄膜的原子间隙，形成嵌套的微陷阱结构。本发明利用磁控溅射技术生长具有嵌套的微陷阱结构的薄膜，通过控制溅射功率进而形成上下两层密度不同的薄膜，下层薄膜溅射功率小，材料密度大，原子间距小，原子间存在小空隙；而上层薄膜溅射功率大，材料密度小，原子间距较大，原子之间存在大空隙，上下两层的大小空隙组成嵌套的微陷阱结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含有 嵌套 陷阱 结构 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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