[发明专利]一种自聚焦透镜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111026235.4 申请日: 2021-09-02
公开(公告)号: CN113930731A 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 刘迎春;沈锦辉;张兴仁 申请(专利权)人: 东莞旭和光电科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/54;C23C14/10;C23C14/06;G02B3/00
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 颜思晨
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种自聚焦透镜的制备方法中,通过使用折射率为n1的第一种材料制作成中心材料,使中心材料进行旋转,朝着中心材料同时溅射沉积第一种材料以及折射率小于n1的第二种材料,并分别控制第一种材料的溅射沉积速率和第二种材料的溅射沉积速率,使得当透镜的半径达到目标半径R时透镜的径向折射率nr从而形成所需的中心折射率为n1、最终半径为目标半径R且径向边缘折射率为nR的柱形体自聚焦透镜。在本申请中,随着透镜的半径逐渐增大,通过控制溅射沉积速率将两种不同折射率的材料按照不同比例进行混合沉积,从而实现自聚焦透镜的折射率延径向方向的渐变,其工艺简单且透镜制作过程可以通过控制溅射沉积速率而被容易地控制。
搜索关键词: 一种 自聚焦 透镜 制备 方法
【主权项】:
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