[发明专利]一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片在审
| 申请号： | 202111017940.8 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN113552201A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 蔡丰勇 | 申请（专利权）人： | 浙江百岸科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人： | 陈孝政 |
| 地址： | 325000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带保护帽涂层的氮氧传感器芯片，包括氧化锆芯片，所述氧化锆芯片内设置有第一内电极、第二内电极、第三内电极、第四内电极和加热电极，所述氧化锆芯片外表面局部位置设置有置物凹槽，所述置物凹槽内设置有外电极，所述氧化锆芯片的加热区包覆有保护帽，所述保护帽包括第一保护涂层和第二保护涂层，所述第一保护涂层包覆住第二保护涂层，所述第一保护涂层和第二保护涂层均为多孔结构。上述技术方案，结构设计合理、水蒸气挥发效果好、工作可靠、使用寿命长且实用性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保护 涂层 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
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