[发明专利]一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板及其应用方法在审
| 申请号： | 202111001172.7 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113637940A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王宏宇;罗雪春 | 申请（专利权）人： | 重庆翰博显示科技研发中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 重庆上义众和专利代理事务所(普通合伙) 50225 | 代理人： | 孙人鹏 |
| 地址： | 400700 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板，包括有OLED显示基板与掩模板本体，所述掩模板本体包括有掩模板上板和掩模板下板，所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有安装腔体层，所述OLED显示基板紧密安装在该安装腔体层中，所述掩模板上板上还开设有像素开口区，在所述掩模板本体内部滑动设置有局部掩膜板机构；在所述掩模板本体与局部掩膜板机构之间设置有定位机构，所述掩模板上板活动扣接在掩模板下板上，且在所述掩模板上板与掩模板下板之间设置有微调升降机构，在所述安装腔体层开口处还设置有密封机构。本发明在对同颜色的像素的蒸镀过程中不需要更换掩模板，从而像素之间不会产生位置偏差，且极大地提高了OLED蒸镀效率和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 提高 品质 oled 蒸镀用掩膜板 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
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