[发明专利]振动环境下反射镜组件微小相对位移测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202110996288.2 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113566716B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 张森;王章利;刘伟光;汪志斌;张燕;张云龙;虎将;卢恒;惠刚阳;管伟;王中强;尹挺 | 申请（专利权）人： | 西安应用光学研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 刘二格 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于光学精密检测技术领域，公开了一种振动环境下反射镜组件微小相对位移测量装置及测量方法，测量装置包括振动连接板、振动连接杆、探测器支撑座、探测器压板、光谱共焦镜头、耦合器、LED光源信号控制器、光纤、数据采集模块、数据后处理模块，以振动连接板为基体，将振动台、待测反射镜组件、振动连接杆连接为一个刚体，通过调节光谱共焦镜头的共焦面，实现镜框和反射镜之间相对位移的高精度测量。本发明解决了反射镜组件相对位移测量过程中的测量精度低、架设复杂、测量过程对反射镜造成损伤等问题，具有结构简单、刚性好、架设简单，测量精度高，对反射镜测量无损伤等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 环境 反射 组件 微小 相对 位移 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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