[发明专利]一种长程可塑性具有高对称性、高线性度的铁电隧道结神经突触器件及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202110993182.7 申请日: 2021-08-26
公开(公告)号: CN113707806A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 郑立梅;杨淑婷;王杰;房红;赵乐 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;G06N3/067
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 杨树云
地址: 250199 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种长程可塑性具有高对称性、高线性度的铁电隧道结神经突触器件及其制备方法和应用,由下自上依次包括单晶Nb:STO衬底、BTO铁电薄膜及金属电极;BTO铁电薄膜的厚度为3‑4u.c.。超薄的BTO铁电薄膜,有利于电子的隧穿,使得电压调控肖特基势垒引起的电导变化效果更好。低氧压下外延生长铁电薄膜,增加了薄膜中的氧空位,使得器件电导随正负脉冲的变化对称性、线性度更高。电导随正负脉冲高线性度、对称性的变化,应用于监督学习,实现了MNIST手写数字识别的高识别率。
搜索关键词: 一种 长程 可塑性 具有 对称性 线性 隧道 神经 突触 器件 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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