[发明专利]电阻式随机存取存储器器件在审
申请号: | 202110987309.4 | 申请日: | 2021-08-26 |
公开(公告)号: | CN114256414A | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 黎佳俊;卓荣发;陈学深 | 申请(专利权)人: | 格芯新加坡私人有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 林莹莹;牛南辉 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开一般地涉及存储器器件及其形成方法。更具体地,本公开涉及电阻式随机存取(ReRAM)存储器器件。本公开提供了一种存储器器件,其包括:具有开口的电介质层;沿着开口的侧壁;位于开口中的第一电极;设置在第一电极上的电阻层;设置在电阻层上的氧清除层;以及与氧清除层接触的第二电极。氧清除层包括与电阻层不同并且部分地覆盖电阻层的材料。第一电极通过氧清除层和电阻层电连接到第二电极。 | ||
搜索关键词: | 电阻 随机存取存储器 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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