[发明专利]钛合金表面制备Ti/TiN复合涂层的方法及复合涂层有效
| 申请号： | 202110984586.X | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113667943B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 陈雄刚;周建宏;张子萱;马语唯;邓靖仪;朱柯松 | 申请（专利权）人： | 宝鸡文理学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 721016 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛合金表面制备Ti/TiN复合涂层的方法及复合涂层，包括钛合金预处理、镀膜机腔室进行两级抽真空、分别对预处理后的钛合金辉光清洗和弧光清洗；采用多弧离子镀Ti/TiN复合涂层：依次沉积TiN涂层1和TiN涂层2；依此重复沉积TiN涂层1和TiN涂层2六个循环，每次循环中间沉积一次复合过渡层；完成钛合金表面Ti/TiN复合涂层的制备。本发明的Ti/TiN复合涂层，解决了TiN涂层与基体间结合力差的问题，提高了界面及涂层整体承载能力，沉积温度低，可有效避免零件产品的尺寸变形，可应用与高端装备零部件重载、冲击载荷等复杂工况。 | ||
| 搜索关键词： | 钛合金 表面 制备 ti tin 复合 涂层 方法 | ||
【主权项】：
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