[发明专利]确定掩模扰动信号的方法、设备和计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202110982237.4 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113671804A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 全芯智造技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 马明月 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据本公开的示例实施例，提供了确定掩模扰动信号的方法、设备和计算机可读存储介质。确定掩模扰动信号的方法包括：多次增大掩模上第一区域内的子区域，直至子区域的尺寸与第一区域的尺寸一致；响应于每次增大，分别确定与增大后的子区域对应的图像强度值，图像强度值表示光刻时子区域将在晶圆上产生的图像信号的强度值；以及基于所确定的图像强度值，确定第一区域内的第二区域的扰动将在晶圆上产生的扰动信号。本公开的实施例能够快速确定掩模扰动信号，进而能够确定用于掩模移动的方向和移动量，以得到高质量的掩掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 扰动 信号 方法 设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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