[发明专利]La-Ti合金靶及其制备方法有效
申请号: | 202110982084.3 | 申请日: | 2021-08-25 |
公开(公告)号: | CN113684456B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 周煌;郭利平;刘维;马小波;黄美松;文康;刘华;赵瑞山 | 申请(专利权)人: | 湖南稀土金属材料研究院有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C1/03;C22C14/00;C22C28/00;B22D7/00 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强;聂午阳 |
地址: | 410126 湖南省长沙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了La‑Ti合金靶及其制备方法,包括以下步骤:将La‑Mg合金铸锭与金属钛置于熔炼设备内进行熔炼,熔炼温度为1700~2200℃,保温时间为1~40min,使La‑Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发,制得La‑Ti合金靶;其中La‑Ti合金靶中镧的重量百分比为20%~60%,金属钛的重量百分比为40%~80%,La‑Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La‑Ti合金靶中镧与钛总质量的5~50%。本发明制备得到的La‑Ti合金靶成分均匀、氧含量低;该方法提高了生产效率,降低了生产成本;解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象。 | ||
搜索关键词: | la ti 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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