[发明专利]一种高NA物镜波像差检测方法有效
| 申请号： | 202110975951.0 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113790873B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 马骏;闫力松 | 申请（专利权）人： | 上海精积微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 张英 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高NA物镜波像差检测方法，包括如下步骤：S1.获取射于面阵CCD像素点的干涉光的光强信号，所述面阵CCD包括若干个所述像素点，每四个两两互相紧邻的所述像素点构成一个像素组，所述像素组与所述高NA物镜的视场点一一对应；S2.基于所述射于面阵CCD像素点的干涉光的光强信号，获取所述像素组位置处的相位差值；S3.基于所述像素组位置处的相位差值，进行解包裹运算，获取所述像素组位置处的校正相位差值；S4.基于所述像素组位置处的校正相位差值，获取所述像素组对应的所述高NA物镜的视场点的波像差值。本发明提供的一种高NA物镜波像差检测方法，解决了高NA物镜的透射波像差测试困难的问题，对于制造高性能物镜具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 na 物镜 波像差 检测 方法 | ||
【主权项】：
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