[发明专利]清理离子布植机内部氟化表面的方法及装置

摘要

本发明提出一种清理离子布植机内部氟化表面的方法，包括以下步骤：在离子布植机内部提供含硼离子束的离子束来源；以及将所述含硼离子束自所述离子束来源传送到具有氟化表面的内部元件，藉以使得所述含硼离子束被引导到所述氟化表面。通过布植硼离子束，特别是具有清洁配方的硼离子束到氟化表面，藉以使得含氟颗粒被移除。进一步地，本发明通过调整氟化表面的温度(通常是加热)到一个温度范围，藉以使得氟键结被弱化，而使得这些含氟颗粒容易被挥发而被移除。可选择地，这些含氟颗粒可以连续地、交替地或弹性地被抽真空移除。