[发明专利]真空干燥装置有效
| 申请号： | 202110966617.9 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113733764B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 汪国杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 何志军 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种真空干燥装置，所述真空干燥装置包括干燥腔、过渡腔和抽真空系统；其中所述过渡腔与所述干燥腔流体连通，所述抽真空系统与所述过渡腔流体连通，用来对所述过渡腔抽真空、以及通过所述过渡腔对所述干燥腔抽真空。本申请的真空干燥装置能在短时间内快速为干燥腔提供较高真空度，并能将干燥腔中的挥发溶剂快速抽走，改善了现有真空干燥设备由于真空度上升导致的成膜不良。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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