[发明专利]一种对接传样装置及光学系统在审
| 申请号： | 202110956472.4 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113655241A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 龚忠苗;李浩;陈志敏;刘宏伟;崔义 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18;G01Q30/20;G01Q30/16;G01Q30/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王广浩 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对接传样装置，用以与真空型扫描近场光学显微镜对接并进行传样，该装置包括：转接腔体，与所述真空型扫描近场光学显微镜的真空腔连通，并可与所述真空腔一同被抽至真空；真空转移仓，与所述转接腔体相匹配，用于将样品从另一真空环境或气氛保护下转移至所述转接腔体内，并在样品转移至所述转接腔体后与所述转接腔体密封连接；传样杆，与所述转接腔体连接，所述传样杆的前端设置有用于抓取样品的抓取头，所述抓取头用于伸入所述转接腔体内，并在所述真空转移仓打开后抓取样品，并将样品转移至所述真空腔内的样品台上。本发明具有结构简单、操作方便、通用性强、成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对接 装置 光学系统 | ||
【主权项】：
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