[发明专利]一种大规模集成的电光微环光学相控阵在审
| 申请号： | 202110953527.6 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113703244A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 程立文;张家荣;罗雨中;张曦晨;李侦伟;张嘉仪;杨达;王俊迪;林星宇 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21;G02F1/29;G02F1/295;G02F1/313 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大规模集成的电光微环光学相控阵，至下而上包括硅衬底、二氧化硅掩埋层和硅芯层；二氧化硅掩埋层附着在硅衬底；在硅芯层这一层上还包括用于接收激光光源并将激光光源引导至光分束网络的光栅耦合器、用于将光栅耦合器输出的光源分成多路信号并传输至相位调谐区的光分束网络、用于产生相位差光束的相位调谐区和用于将产生的相位差光束发射至自由空间的天线阵列；相位调谐区包括由多个阵元构成的调谐阵列、与光分束网络连接的直波导、用于控制阵元的电压输出的控制总线；每个阵元均包括定向耦合器、p‑i‑n调制器和电极片；定向耦合器将直波导上的光信号耦合至p‑i‑n调制器，所述p‑i‑n调制器通过电极片与控制总线连接，用于使各路光产生相位差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大规模 集成 电光 光学 相控阵 | ||
【主权项】：
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