[发明专利]一种沉积炉的连续化进出料的装置及其方法在审
申请号: | 202110944533.5 | 申请日: | 2021-08-17 |
公开(公告)号: | CN113549891A | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 赵龙会;曹云;夏汇浩;邵忠;范杨 | 申请(专利权)人: | 上海康碳复合材料科技有限公司;福建康碳复合材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/06;C23C16/26;C23C16/54;F27D3/00 |
代理公司: | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人: | 金利琴 |
地址: | 201804 上海市嘉定区嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种沉积炉的连续化进出料的装置及其方法,沉积炉置于一自由伸缩隔热桶内,还包括一自动料盘和丝杠升降机构,自动料盘在丝杠升降机构的作用下完成提升和下降,提升时,提升至沉积炉的炉底位置,且自由伸缩隔热桶在所述丝杠升降机构的作用下完成收缩和伸展。本发明主要解决了沉积炉的连续化作业问题,可以有效提升沉积炉的工作效率,降低人力及资源浪费。 | ||
搜索关键词: | 一种 沉积 连续 进出 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
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