[发明专利]高精度光矢量分析装置及方法在审
申请号: | 202110921826.1 | 申请日: | 2021-08-12 |
公开(公告)号: | CN113375913A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 王辉文;刘晓平;张晓磊;温永强;张晓乔 | 申请(专利权)人: | 武汉昊衡科技有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红 |
地址: | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种高精度光矢量分析装置,该装置中,光源发出的扫频激光分别进入第一干涉光路、第二干涉光路;第一干涉光路工作时,第一测量信号经过待测器件后与参考信号发生拍频干涉,并由偏振分束器将产生的拍频信号分为偏振态相互垂直的两路,分别为第一、第二拍频信号;第二干涉光路工作时,偏振方向与第一测量信号垂直的第二测量信号经过待测器件后与参考信号发生拍频干涉产生第三、第四拍频信号;处理四个拍频信号得到待测器件的琼斯矩阵,进而可获得器件光学参数。本发明能实现器件全波长范围内幅频响应的高精度测量并间接获得其他光学参数,简单便捷,有效缩短了测量时间。 | ||
搜索关键词: | 高精度 矢量 分析 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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