[发明专利]微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法在审
| 申请号： | 202110919009.2 | 申请日： | 2021-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN113624565A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 赵昊;彭泽亚;周斌;赖灿雄 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22;G01N27/62 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 孙君衍 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法，微量气氛取样检测装置，包括中空的检测腔体以及真空系统，检测腔体与真空系统连通，检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪，测试装置与样品固定装置对应设置，样品固定装置用于固定设置样品，测试装置能够破坏样品的气密封，质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中，相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构，避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响，即使样品内的气氛气体很少，其也能够在检测腔体中充分扩散，使质谱仪能够获取并加以测试分析，本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 微量 气氛 取样 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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