[发明专利]一种自动识别晶圆铁烤架与ID读取的设备及方法在审
| 申请号： | 202110916503.3 | 申请日： | 2021-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN113642349A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 龚昱;刘红军;邓雯;沈佳莉 | 申请（专利权）人： | 华芯（嘉兴）智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G06K7/10 | 分类号： | G06K7/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市平湖市钟埭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种自动识别晶圆铁烤架与ID读取的设备及方法，设备包括自动扫码装置和分选机上位机系统，所述自动扫码装置设在晶圆装卸机上，用于对设在所述晶圆装卸机面板上的晶圆铁烤架的ID进行读取并发送至分选机上位机系统，分选机上位机系统根据自动扫码装置发送的ID信息自动识别当前晶圆装卸机上放置的是铁烤架，对当前铁烤架的尺寸进行判断，并将铁烤架的ID信息进行上报，达到晶圆跟踪的目的。本发明解决了半导体客户厂内的铁烤架的自动识别问题，在原本不能用于自动化的工艺制程实现了自动化，降低了客户的人力成本，同时降低了人为失误造成的破片率，增加了晶圆装卸机自动识别晶舟的兼容性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动识别 晶圆铁 烤架 id 读取 设备 方法 | ||
【主权项】：
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