[发明专利]一种带有切削液回收功能的硅片切割机在审

专利信息
申请号: 202110913227.5 申请日: 2021-08-10
公开(公告)号: CN113752400A 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 张耀;黄慧媛;齐申;屈恒 申请(专利权)人: 江苏天晶智能装备有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00
代理公司: 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 代理人: 王云峰
地址: 221000 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及切割机领域,具体是一种带有切削液回收功能的硅片切割机,包括用于收集切削液的导流板,导流板一侧设有导流槽,导流槽的出口端设有用于切削液回收的初级过滤机构,初级过滤机构用于过滤掉切削液中的颗粒状杂物,初级过滤机构的下方设有切削液回收的次级过滤机构,次级过滤机构用于过滤掉切削液粉末状杂物且初级过滤机构与次级过滤机构之间通过快拆机构连接;切削液从导流板和导流槽流入至塔筒内,切削液中能通过溢流孔的碎屑物直接落入至箱体内,未能透过溢流孔的碎屑物过滤在螺旋叶上,此时实现对切削液的初级过滤,即将切削液中的大颗粒碎屑物过滤掉。
搜索关键词: 一种 带有 切削 回收 功能 硅片 切割机
【主权项】:
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