[发明专利]一种二维纳米定位平台控制系统在审
| 申请号： | 202110913065.5 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113759770A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张海涛;王志岳;陈智勇;张逸伦;易明磊 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 王颖翀 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维纳米定位平台控制系统，包括：控制板、输入控制回路和输出反馈回路；输入控制回路的输入端和输出端分别与控制板的输出端和二维纳米定位平台的输入端连接，用于将控制板输出的控制信号转换为二维纳米定位平台驱动信号；输出反馈回路的输出端与控制板的输入端连接，用于将激光位移传感器测量的二维纳米定位平台位移数据传输至控制板，以供控制板生成控制信号。通过采用四个驱动器以对称差分驱动模式驱动纳米定位平台的XY轴，相较于传统单驱动模式可有效减少纳米定位平台的滞环与多轴耦合误差，结合高精度位移传感器实现高性能的闭环反馈控制器，能够对二维纳米定位平台精密定位运行的精准稳定控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 纳米 定位 平台 控制系统 | ||
【主权项】：
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