[发明专利]一种自校验式声表面波传感器及其校验方法有效

专利信息
申请号: 202110910144.0 申请日: 2021-08-09
公开(公告)号: CN113447053B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 万仲飞 申请(专利权)人: 北京国声智能科技有限公司
主分类号: G01D5/48 分类号: G01D5/48;G01D18/00
代理公司: 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 代理人: 黄锦阳
地址: 100085 北京市海淀区上*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种自校验式声表面波传感器,包括基底、反射栅、叉指换能器以及传感器信号输入输出共用一个端口,采用单端口多通道集成方式,传感器中各表面波通道独立工作,每个通道的都有独立的输入和输出叉指换能器和反射栅,各通道最终汇集到一个共用的输入输出端口。本发明在一个标准封装外壳内同一芯片上集成多个通道的谐振器,可实现多谐振器之间相互校验,使得传感器可以有效排除干扰信号,精度得到大幅度提升,同时提高传感器的码容量。
搜索关键词: 一种 校验 表面波 传感器 及其 方法
【主权项】:
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