[发明专利]一种自校验式声表面波传感器及其校验方法有效
申请号: | 202110910144.0 | 申请日: | 2021-08-09 |
公开(公告)号: | CN113447053B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 万仲飞 | 申请(专利权)人: | 北京国声智能科技有限公司 |
主分类号: | G01D5/48 | 分类号: | G01D5/48;G01D18/00 |
代理公司: | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人: | 黄锦阳 |
地址: | 100085 北京市海淀区上*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种自校验式声表面波传感器,包括基底、反射栅、叉指换能器以及传感器信号输入输出共用一个端口,采用单端口多通道集成方式,传感器中各表面波通道独立工作,每个通道的都有独立的输入和输出叉指换能器和反射栅,各通道最终汇集到一个共用的输入输出端口。本发明在一个标准封装外壳内同一芯片上集成多个通道的谐振器,可实现多谐振器之间相互校验,使得传感器可以有效排除干扰信号,精度得到大幅度提升,同时提高传感器的码容量。 | ||
搜索关键词: | 一种 校验 表面波 传感器 及其 方法 | ||
【主权项】:
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