[发明专利]集成电路测试装置在审
| 申请号： | 202110909287.X | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113484736A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 邢思波 | 申请（专利权）人： | 苏州日月新半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 215021 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种集成电路测试装置，包括：第一运动部、第二运动部以及底座。所述第一运动部经配置以在第一方向上进行运动。所述第二运动部经配置以通过传动轴联动所述第一运动部，其中当所述第二运动部在不同于所述第一方向的第二方向上进行运动时通过所述传动轴联动所述第一运动部，使所述第一运动部在所述第一方向上进行运动。所述底座经配置以承载所述集成电路测试板，其中所述第一运动部可拆卸式地设置于所述底座之上。当所述第一运动部在所述第一方向上运动时，暴露所述集成电路测试板上用于放置集成电路芯片的测试位置。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 测试 装置 | ||
【主权项】：
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