[发明专利]一种压电陶瓷-基体一体化驱动器在审
| 申请号： | 202110905964.0 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113852292A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 王大志;赵奎鹏;宗浩然;袁钰恒;蒋朝阳;李岩;王伦翔 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;大连理工大学宁波研究院 |
| 主分类号： | H02N2/16 | 分类号： | H02N2/16;H02N2/14;H02N2/12;H02N2/00;H01L41/314;H01L41/39;H01L41/43 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 苗青 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 陶瓷 基体 一体化 驱动器 | ||
【主权项】：
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