[发明专利]一种压电陶瓷-基体一体化驱动器在审
| 申请号： | 202110905964.0 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113852292A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 王大志;赵奎鹏;宗浩然;袁钰恒;蒋朝阳;李岩;王伦翔 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;大连理工大学宁波研究院 |
| 主分类号： | H02N2/16 | 分类号： | H02N2/16;H02N2/14;H02N2/12;H02N2/00;H01L41/314;H01L41/39;H01L41/43 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 苗青 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 陶瓷 基体 一体化 驱动器 | ||
1.一种压电陶瓷-弹性体一体化驱动器，其特征在于，所述压电陶瓷-弹性体一体化驱动器包括基体(1)、下电极(2)、压电陶瓷(3)和分区上电极(4)；
所述基体(1)上部分布齿形结构，底部为平面；所述下电极(2)制备在基体(1)底部；所述压电陶瓷(3)通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷(3)喷印至下电极(2)表面，通过高温共烧技术实现压电陶瓷(3)和基体(1)的一体化体系，使压电陶瓷(3)的振动无损地传递给基体(1)；所述分区上电极(4)制备在压电陶瓷(3)表面；
所述压电陶瓷(3)通过以下方式制备：
将基体(1)置于运动平台板(5)上，高压电源(12)在喷针(7)和运动平台板(5)之间施加电压，压电陶瓷复合墨水在微量注射泵(10)的缓慢推动下，从注射器(9)通过导管(8)流至喷针(7)出口，在电场、重力等作用下产生稳定的精细射流(6)；PC上位机(11)控制运动平台板(5)沿着预定的运动轨迹运动，通过层层叠加累积，实现压电陶瓷(3)的电流体喷印制造；电喷印完成后，按照性能需求将器件在520℃～1120℃的温度范围内进行高温共烧处理，使基体(1)、下电极(2)和压电陶瓷(3)的结构组织互相渗透结合，形成材料-结构无界面的整体，并使压电陶瓷(3)固化形成钙钛矿结构；最后在固化后的压电陶瓷(3)表面制备一层分区上电极(4)，经过极化后形成具有压电效应的压电陶瓷(3)。
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