[发明专利]多波长激光干涉装置在审
| 申请号： | 202110896803.X | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113624456A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 韩森;张齐元;朱大勇;王芳;李雪园;王全召 | 申请（专利权）人： | 苏州维纳仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多波长激光干涉装置，其特征在于，包括：激光产生单元，用于产生多种不同波长的激光光源；光源转换单元，用于将激光光源转换为点光源；分光单元，用于对点光源的进行部分折射形成分光光束，导轨机构，长度方向与分光光束的光路方向一致，准直单元，可移动地设置在导轨机构上并且能够沿导轨机构的长度方向移动，用于使分光光束形成平行光束并射入光学系统，从而反射形成参考光束以及测试光束；成像单元，用于对滤波后的参考光束以及测试光束进行干涉成像，其中，准直单元以及成像单元均采用消色差结构，不同波长至少包括一个可见光波长以及一个近红外波长，准直单元被调整为使得可见光波长和近红外波长的激光光源共聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 激光 干涉 装置 | ||
【主权项】：
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