[发明专利]一种光刻胶空气隔绝系统有效
| 申请号： | 202110894431.7 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113534610B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘长伟;耿克涛;陈胜华 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 李美宝 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶空气隔绝系统，包括：供气装置；多个调压装置，所述多个调压装置包括：排胶调压装置和保压装置；每个所述调压装置包括：减压阀和节流阀，所述供气装置依次连通所述减压阀和所述节流阀，且所述多个调压装置的所述减压阀的工作使用压力不同；阀岛，设有多个第一进气口，所述第一进气口连通所述调压装置；光刻胶储存装置，设有第二进气口和出胶口，所述第二进气口连通所述阀岛。本发明有效解决更换胶瓶或重装胶液时，胶液接触空气的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 空气 隔绝 系统 | ||
【主权项】：
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