[发明专利]一种光刻胶空气隔绝系统有效
| 申请号： | 202110894431.7 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113534610B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘长伟;耿克涛;陈胜华 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 李美宝 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 空气 隔绝 系统 | ||
1.一种光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，包括：
供气装置；
多个调压装置，所述多个调压装置包括：排胶调压装置和保压装置；每个所述调压装置包括：减压阀和节流阀，所述供气装置依次连通所述减压阀和所述节流阀，且所述多个调压装置的所述减压阀的工作使用压力不同；
阀岛，设有多个第一进气口，所述第一进气口连通所述调压装置；
光刻胶储存装置，设有第二进气口和出胶口，所述第二进气口连通所述阀岛。
2.根据权利要求1所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述阀岛设有出气口，连通所述第二进气口；
其中，所述出气口连通任意一个所述第一进气口，并能够在多个所述第一进气口中切换。
3.根据权利要求2所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述阀岛包括：
多个二位三通阀，每个所述二位三通阀设有所述出气口和多个所述第一进气口；
其中，多个所述第一进气口包括所述排胶进气口、所述保压进气口。
4.根据权利要求3所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述排胶调压装置，包括：第一减压阀；
所述保压装置，包括：第二减压阀；
所述第一减压阀的工作使用压力大于所述第二减压阀的工作使用压力。
5.根据权利要求4所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，
所述第一减压阀的工作使用压力为0.1Mpa至0.2Mpa；
和/或所述第二减压阀的工作使用压力为0.005Mpa至0.01Mpa。
6.根据权利要求4所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述排胶调压装置还包括：第一节流阀；
其中，所述第一节流阀连通于所述第一减压阀和所述排胶进气口之间。
7.根据权利要求4所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述保压装置还包括：第二节流阀和排气阀；
其中，所述第二减压阀依次连通所述第二节流阀、所述排气阀和所述保压进气口。
8.根据权利要求1所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述光刻胶储存装置包括多个胶瓶，所述第二进气口和所述出胶口设于所述胶瓶。
9.根据权利要求8所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，所述胶瓶还包括单向阀和/或泄压阀，设于所述第二进气口。
10.根据权利要求1-9任一项所述的光刻胶空气隔绝系统，其特征在于，还包括：
控制系统，连接所述阀岛。
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