[发明专利]集尘装置和等离子体设备在审
申请号: | 202110892226.7 | 申请日: | 2021-08-04 |
公开(公告)号: | CN113509792A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 王怀庆 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | B01D45/16 | 分类号: | B01D45/16 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 邹俊;黄华莲 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及半导体制造设备的技术领域,提供了一种集尘装置,包括:进气通道、沿预定路径延伸的灰尘沉降通道、环绕在所述沉降通道外侧的气流旋转通道、出气通道,以及收集腔;所述气流旋转通道的一端与所述灰尘沉降通道连通,所述气流旋转通道的另一端与所述出气通道连通;所述灰尘沉降通道的上游端与所述进气通道连通,所述灰尘沉降通道的下游端与所述收集腔连通;在所述预定路径的延伸方向上,所述灰尘沉降通道的高度逐渐降低。使得气流旋转通道内的灰尘在沿气流旋转通道流动时候能够在离心力的作用下便于灰尘的沉降;气流旋转通道的另一端与出气通道连通以排出气体。 | ||
搜索关键词: | 集尘 装置 等离子体 设备 | ||
【主权项】:
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