[发明专利]一种钻石整理器及具有其的研磨机台在审
| 申请号： | 202110888933.9 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN113478392A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 田国军;崔凯 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 郑越 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体研磨工具技术领域，具体涉及一种钻石整理器及具有其的研磨机台。一种钻石整理器，包括：本体；支撑结构，设于所述本体上，且与所述本体滚动连接，所述支撑结构具有弧形承载面，所述弧形承载面上设有多个容纳腔；多个金刚石，分别固定在相应的所述容纳腔中，且部分暴露在外。本发明提供了一种打磨效率高，对研磨垫的清洁效果好的钻石整理器及具有其的研磨机台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钻石 整理 具有 研磨 机台 | ||
【主权项】：
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