[发明专利]负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜在审
| 申请号： | 202110884911.5 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN114063387A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 饭尾匡史;浦野宏之;渡边修;竹村胜也 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/00;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜。本发明的课题是提供能形成矩形性高的微细图案并可获得高分辨率，且即使于低温硬化时机械特性亦良好，而且高温高湿试验前后的密接力不会劣化的负型感光性树脂组成物。一种负型感光性树脂组成物，含有：(A)碱可溶性树脂，含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构；(B)交联性高分子化合物，含有下列通式(1)表示的结构单元，且具有会与(A)成分交联的基团；(C)因光而产生酸的化合物；及(D)热交联剂。 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组成 图案 形成 方法 硬化 绝缘 表面 保护膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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