[发明专利]负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜

权利要求书

1.一种负型感光性树脂组成物，含有：

(A)碱可溶性树脂，含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构；

(B)交联性高分子化合物，含有下列通式(1)表示的结构单元，且具有会与该(A)成分交联的基团；

(C)因光而产生酸的化合物；及

(D)该(B)成分以外的交联剂；

式中，R¹表示氢原子或甲基，R²为(n+1)价的碳数1～15的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～15的芳香族烃基、苄基、或萘甲基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子；n为1～5的整数；X₁各自独立地为-C(＝O)-O-、-C(＝O)-NH-、或-C(＝O)-N(R³OH)-；R³为2价的碳数1～12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～12的芳香族烃基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子；p为0或1。

2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组成物，其中，该(B)成分是交联性高分子化合物且含有下列通式(2)表示的结构单元并含有具有会与该(A)成分交联的基团的下列通式(3)表示的结构单元；

式中，R⁴表示氢原子或甲基，X₂各自独立地为-C(＝O)-O-、-C(＝O)-NH-、或-C(＝O)-N(R⁵OH)-；R⁵为2价的碳数1～12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～12的芳香族烃基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子；p为0或1；

式中，R⁶表示氢原子或甲基，R⁷表示噁唑啉基、异氰酸酯基、封端异氰酸酯基、氧杂环丁烷基、环氧基的基团，X₃为-C(＝O)-O-、或亚苯基或亚萘基；p为0或1。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的负型感光性树脂组成物，其中，该(B)成分为含有下列通式(2)表示的结构单元，并含有下列通式(4)与下列通式(4′)表示的结构单元中的任一者或该两者的交联性高分子化合物；

式中，R⁸表示氢原子或甲基，X₄各自独立地为-C(＝O)-O-、或亚苯基或亚萘基；R⁹为亦可含有羟基、酯基、醚基、芳香族烃的碳数1～15的直链状、分支状或环状的亚烷基，R¹⁰为氢原子、碳数1～6的直链状、分支状或环状的烷基，或亦可与R⁹键结而形成环；R¹¹为氢原子、或碳数1～6的直链状、分支状或环状的烷基，R¹²为氢原子、或碳数1～6的直链状的烷基，亦可与R⁹键结而形成环；m为0或1；p为0或1；R^13’表示氢原子或甲基，R^14’表示单键或亚烷基，R^15’为封端异氰酸酯基；0b21.0、0≤b41.0、0≤b4’1.0、0b4+b4’1.0、0b2+b4+b4’≤1.0或0b2+b4≤1.0及0b2+b4’≤1.0；R⁴表示氢原子或甲基，X₂各自独立地为-C(＝O)-O-、-C(＝O)-NH-、或-C(＝O)-N(R⁵OH)-；R⁵为2价的碳数1～12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～12的芳香族烃基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子。