[发明专利]一种计算机芯片检测设备在审

专利信息
申请号: 202110883611.5 申请日: 2021-08-03
公开(公告)号: CN113552470A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 戴红;杨宇晶;马玉萍 申请(专利权)人: 吉林工程技术师范学院
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01R1/04
代理公司: 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 代理人: 于艳萍
地址: 130052 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种计算机芯片检测设备,包括检测设备底板、芯片固定检测台、X轴驱动组件、Y轴驱动组件、Z轴驱动组件和探头组件,X轴驱动组件固定设置于检测设备底板上端,芯片固定检测台固定设置于检测设备底板上端,X轴驱动组件的驱动端与Y轴驱动组件连接,Y轴驱动组件的驱动端与Z轴驱动组件连接,Z轴驱动组件的驱动端与探头组件连接,探头组件位于芯片固定检测台的上方。本发明通过移动螺母电机驱动在螺杆上移动,从而带动传感器探头在X方向、Y方向和Z方向移动,从而减少传感器的震动,并配合气压减震器在底座下,进一步减少传感器探头的震动提高传感器检测精度,并能够提高传感器检测效率,省时省力,使用方便。
搜索关键词: 一种 计算机 芯片 检测 设备
【主权项】:
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