[发明专利]一种基于PDMS/PUA相互复制的可变线密度光栅制作方法在审
| 申请号： | 202110882509.3 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113484945A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 金建;王旭迪;邸思;林文豫;孙学通 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PDMS/PUA相互复制的可变线密度光栅制作方法，其特征在于通过拉伸PDMS光栅来改变其光栅线密度，并通过夹具固定其变形，接着通过PUA紫外固化胶对变形后的PDMS光栅图案进行复制记录。最后再以PUA为新的模板，再一次将光栅反复制到PDMS上；经过以上步骤，可以在不重新制作模板的情况下，改变光栅的线密度，并且上述过程可以重复几次，从而再次提高PDMS光栅的线密度。本发明工艺需要的设备简单，具有成本低、操作简单、生产周期短等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pdms pua 相互 复制 可变 密度 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
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