[发明专利]缺陷检测装置在审
| 申请号： | 202110874760.5 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN115684168A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 刘逍;于大维;李润芝 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测装置，所述缺陷检测装置通过将照明模块提供的检测光束入射至待测结构，并通过两个成像模块分别从两个不同的角度接收由待测结构散射的检测光束并进行成像，从而可形成所述待测结构的两个检测图像，图像处理器可基于所述两个检测图像确定所述待测结构的缺陷的位置。如此一来，仅需配置一个光源，即可实现检测待测结构的第一表面和第二表面的缺陷，由此可减小空间占比，降低成本，并可准确的确定缺陷的位置,提高缺陷检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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