[发明专利]检测系统及检测方法在审
申请号: | 202110873810.8 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113466258A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 陈鲁;张龙;黄有为;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人: | 吴京隆 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种检测系统。检测系统包括第一光源、第二光源及至少一个检测通道;第一光源向待检测的样品入射第一光线,第一光线激发样品发出特定波长范围的第一信号光,以及经由样品反射或散射出第二信号光;第二光源向样品入射第二光线,第二光线经由样品反射或散射出第三信号光;检测通道包括探测装置及滤波装置,探测装置接收穿过滤波装置的信号光以形成检测信息,滤波装置可选择地切换至第一状态或第二状态,在第一状态下,滤波装置供第一信号光穿过,在第二状态下,滤波装置供第二信号光或第三信号光穿过。本申请还公开了一种检测方法。通过检测系统可以对样品进行较为全面地检测。 | ||
搜索关键词: | 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
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