[发明专利]电弧离子镀膜装置及镀膜方法有效
| 申请号： | 202110873377.8 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113564540B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 冯森;蹤雪梅;李莎;郭飞 | 申请（专利权）人： | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张文超 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种电弧离子镀膜装置及镀膜方法，电弧离子镀膜装置包括：真空室，其腔体内为真空环境；电弧产生部件，设在真空室内，包括阴极靶、阳极和引弧器，阴极靶呈柱状且用于释放等离子体，引弧器设在阴极靶和阳极之间，用于产生带电粒子以引导阴极靶的侧面与阳极之间产生电弧对工件镀膜；支撑架，设在真空室内，支撑架设在阳极远离阴极靶的一侧，用于放置工件；和供电部件，包括弧电源和第一蓄能器，弧电源具有第一输出端和第二输出端，第一输出端用于输出脉冲电压且与引弧器连接，第二输出端用于输出可调直流电压且用于对第一蓄能器充电，第一蓄能器的负极和正极分别与阴极靶和阳极连接。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 离子 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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