[发明专利]检测设备及检测方法在审
| 申请号： | 202110871461.6 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113607754A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;王天民;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人： | 吴京隆 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种检测设备。检测设备用于检测工件，工件包括第一区域及第二区域，第一区域的反射率大于第二区域的反射率。检测设备包括第一探测装置及第二探测装置。第一探测装置用于以第一照明光投射至第一区域，并采集包括第一区域的第一图像。第二探测装置用于以第二照明光投射至第二区域，并采集包括第二区域的第二图像，第一照明光的强度小于第二照明光的强度。本申请还公开了一种检测方法。对于反射率较大的第一区域，利用第一探测装置，以强度较小的第一照明光照射后，采集包括第一区域的第一图像，对于反射率较小的第二区域，利用第二探测装置，以强度较大的第二照明光照射后，采集包括第二区域的第二图像，提高检测结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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