[发明专利]F-P谐振腔型光学加速度计在审
| 申请号： | 202110853866.7 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113552385A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 刘晓海;吴盟 | 申请（专利权）人： | 百易晟信息科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 王祖悦 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了F‑P谐振腔型光学加速度计，包括第一衬底，第一衬底的一侧设置有下沉平台，下沉平台的底部设置有半球形凹透镜，半球形凹透镜的表面设置有第一金属反射膜，第一衬底设置有下沉平台的一侧与第二衬底键合；质量块设置在第二衬底的中空腔内，质量块与第二衬底通过若干悬臂梁连接，质量块靠近半球形凹透镜的一侧设置有第二金属反射膜。本申请公开的F‑P谐振腔型光学加速度计，通过设置稳定的谐振腔，降低了光学加速度计中的光学损耗，提高加速度计的测量精度；可以根据出射光波长的改变反推谐振腔长度的改变，从而实现加速度的测量，结构简单，集成度高，生产成本低，利于光学加速度计的广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振腔 光学 加速度计 | ||
【主权项】：
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