[发明专利]一种自卷曲交指结构的静电微执行器在审
| 申请号： | 202110849458.4 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113460953A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 黄文;汪司琪;汪颖;桑磊 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种自卷曲交指结构的静电微执行器，属于自动控制和微纳技术领域。包括在硅衬底片上自卷曲形成多圈管状的自卷曲微管；自卷曲微管自外向内依次包括第一保护层、应力层、导电层及第二保护层；应力层用于使本体卷曲，导电层为良导体材料制成的交指结构。卷曲之后在两端馈线通不同电压，形成电势差。交指结构的尺寸以及每圈交指的数目都对变形效果产生影响。该静电微执行器最大变形情况下可实现维度转换，从平面结构到立体结构再到平面结构，相比于静电悬臂梁等微执行器，在形变位移上具有明显优势。自卷曲技术实现了小电极间距，极大程度的利用了静电力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卷曲 结构 静电 执行 | ||
【主权项】：
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