[发明专利]一种二氧化氮气体传感器及其制备方法在审
申请号: | 202110848389.5 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113567518A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 台国安;侯闯 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | G01N27/30 | 分类号: | G01N27/30 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 高玲玲 |
地址: | 210007 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备硼烯及其异质结构气体传感器件的方法,包括以下步骤:首先将硼源在还原性气氛中450~1100℃反应温度下保持5~300min,获得高质量、超稳定的硼烯纳米片,再利用液相剥离的方法制备高结晶的二维层状材料,然后采用超声范德华组装法获得硼烯基纳米材料乙醇悬浮液,并将其均匀覆盖到传感电极,最后采用引线键合技术将传感电极连线到封装基板上,制作成硼烯基气体传感器件。本发明制备的硼烯基纳米材料既维持了二维材料的超薄特性,又具有超高的比表面积,从而获得了一种制备高灵敏、快响应硼烯基气体传感器的方法。本发明制备的硼烯基气体传感器在不同湿度、不同温度下均具有优异的气敏性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 二氧化氮 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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