[发明专利]一种蒸镀机电极的支撑装置及用途在审
| 申请号： | 202110844976.7 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113564557A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;陈会兵;陈敏 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C18/16;C23C18/32 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置及用途，所述的支撑装置包括至少一个支撑件，所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件，用于将电极固定并支撑于蒸镀机上，所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。在本发明中，在支撑装置表面镀镍铁氟龙层，使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层，极大的改善镍磷镀层的化学性能，增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性，并且镀层的摩擦系数大幅降低，从而大幅改善金属材料的性能，使得零部件减少腐蚀、磨损，不易损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机电 支撑 装置 用途 | ||
【主权项】：
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