[发明专利]一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法有效
| 申请号： | 202110839109.4 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113566853B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李瑞君;赵文楷;李鑫;张连生;黄强先 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法，干涉测量系统由激光光源、干涉光路、参考镜、测量镜、光电检测器以及信号处理模块所组成；通过包括光电检测、I/V转换、差分放大、直流自动补偿、正交化及正则化的信号处理方式对干涉信号进行在线自适应处理，得到两路等幅正交干涉电压信号，实现对干涉信号中幅值、相位以及直流偏移误差的补偿，间接提高测量镜的抗偏摆能力。本发明在提高测量系统测量精度的同时，能有效提高测量系统抗测量镜偏摆的能力，扩大测量行程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 干涉 测量 系统 镜偏摆 能力 方法 | ||
【主权项】：
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